آزمون لایه نشانی نقره
اتاق تمیز میکرو/نانوفب ( Micro/nanofab Clean room )
آزمون لایه نشانی نقره
ضخامت نانومتری
دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی
به منظور لایه نشانی روی زیرلایههای مختلف نظیر لام، سیلیکون و ... استفاده میشود. این دستگاه مجهز به یک پمپ روتاری و یک پمپ توربو به منظور خلاء محفظه میباشد که به فشار نهایی X10E – 6 torr خواهد رسید و دارای دو سورس لایه نشانی تبخیر حرارتی و پرتو الکترونی است که ضخامت سنجی توسط یک کریستال ضخامت سنج انجام پذیر است.
امکان لایه نشانی نانومتری بر روی زیرلایههای متفاوت فراهم است.
استاندارد .Int. Pro 3026
استاندارد لایه نشانی نقره ( Silver Deposition std )
نمونه اتاق تمیز ممز
پارامتر (ها)
ران لایه نشانی تا 100 نانومتر ( 100nm deposition )
ران لایه نشانی بالاتر از 100 نانومتر ( +100nm Deposition )