آزمون لایه نشانی طلا
اتاق تمیز میکرو/نانوفب ( Micro/nanofab Clean room )
آزمون لایه نشانی طلا
نانومتری
لایه نشانی با طلا 24 عیار و خلوص 4N سوییسی توسط دستگاه تبخیر حرارتی

دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی
به منظور لایه نشانی روی زیرلایههای مختلف نظیر لام، سیلیکون و ... استفاده میشود. این دستگاه مجهز به یک پمپ روتاری و یک پمپ توربو به منظور خلاء محفظه میباشد که به فشار نهایی X10E – 6 torr خواهد رسید و دارای دو سورس لایه نشانی تبخیر حرارتی و پرتو الکترونی است که ضخامت سنجی توسط یک کریستال ضخامت سنج انجام پذیر است.
امکان لایه نشانی نانومتری بر روی زیرلایههای متفاوت فراهم است.
استاندارد .Int. Pro 3025
لایه نشانی طلا ( Gold Depostion )
نمونه اتاق تمیز ممز
پارامتر (ها)
لایه نشانی طلا تا 100 نانومتر ( Gold Deposition(-100nm) )
لایه نشانی طلا بیشتر از 100 نانومتر ( Gold Deposition(+100nm) )
لایه نازک کروم ( Cr Thin film )
لایه نازک تیتانیوم ( Ti Thin film )
گرم طلا 24 عیار مصرفی ( Gold gr )