آزمون لیتوگرافی نوری

اتاق تمیز میکرو/نانوفب ( Micro/nanofab Clean room )

آزمون لیتوگرافی نوری

-

دستگاه دستگاه تنظیم ماسک

برای ساخت و انداختن طرح و الگو رویبخش‌هایی از یک فیلم نازک یا سطح یک ویفر استفاده می‌شود که دارای سیستم نوردهی UV هم تراز و موازی آرایه‌ای و سیستم Motorized نیمه اتوماتیک می‌باشد.

امکان ماسک‌گذاری، الگواندازی و نوردهی فرابنفش زیرلایه و ماسک به صورت نیمه اتوماتیک با دقت یک میکرون، حرکت در محور XYZ،

استاندارد ETC 3010

استاندارد آزمون فوتولیتوگرافی ( Photolithography Test Standard )

نمونه اتاق تمیز ممز

پارامتر (ها)

1

خدمات لیتوگرافی ( Photolithography )

(ريال)

اطلاعات تماس

ثبت درخواست