کاربر عزیز خوش آمدید
آزمون لایه نشانی دورانی
اتاق تمیز میکرو/نانوفب ( Micro/nanofab Clean room )
آزمون لایه نشانی دورانی
لایه نشانی
دستگاه لایه‌نشانی دورانی
اسپین کوتر (Spin Coater) روشی در تولید لایه‌های نازک می‌باشد که در آن با ریختن محلول مورد نظر روی زیرلایه و سپس چرخاندن آن، ضخامت مورد نظر حاصل می‌شود که برای ساخت لایه‌هاى نانو مترى، میکرو الکترونیک، اچ کردن و پوشش‌دهی چرخشی رزین‌های حساس به نور (فوتورزیست) استفاده می‌شود.
این اسپین کوتر دارای سرعت چرخش از 500 تا 9000 دور در دقیقه با خطای سرعت کمتر از 1%، زمان چرخش از 1 ثانیه تا 60دقیقه برای هر مرحله، قطر زیر لایه 10 تا 100 میلیمتر، شیرهای ورود و خروج گاز جهت لایه نشانی در حضور گاز خاص، سیستم تزریق چرخان با امکان انتخاب حالت دستی و سرنگی می‌باشد.
استاندارد .Int. Pro 3014
استاندارد لایه نشانی دورانی ( Spin Coater Standard )
نمونه اتاق تمیز ممز
پارامتر (ها)
1
ضخامت لایه ( Layer Thickness )
(ريال)
