سامانه جامع مدیریت اطلاعات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف

انجام خدمات زدایش سطح توسط پلاسمای اکسیژن

به منظور انجام فرآینده Etching از گاز اکسیژن استفاده می‌شود و حداکثر زمان کارکرد دستگاه 10 دقیقه خواهد بود.

قابلیت انجام پلاسمای اکسیژن جهت اصلاح سطح تا حداکثر مدت زمان 10 دقیقه را فراهم می‌کند که در آن ناخالصی‌ها و آلودگی‌های سطح نمونه با استفاده از ایجاد پلاسمای پر انرژی از ذرات گازی شکل زدوده می‌شوند.

امکان عملیات زدایش سطح با استفاده از پلاسما (plasma trearment) و گاز اکسیژن را فراهم می‌نماید که دارای فشار نهایی X10E – 2 torr با فشارسنج پیرانی، ولتاژ پالسی با توان بیشینه ۱۰۰ وات، محفظه استوانه‌ای پیرکس با قطر 15cm، شیر سوزنی برای تنظیم مقدار گاز ورودی اکسیژن و سامانه کنترلی با مانیتور لمسی تمام رنگی است.

استاندارد زدایش پلاسما اکسیژن ( O2 Plasma Etching STD )

نمونه باید تمیز و عاری از هر گونه رطوبت باشد به همین منظور قبل از ارسال نمونه آن را در صورت امکان در ظرفی تمیز تحویل دهید.

نام : زدایش سطح توسط گاز اکسیژن ( O2 Plasma Etching )