سامانه جامع مدیریت اطلاعات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف

ضخامت نانومتری

به منظور لایه نشانی روی زیرلایه‌های مختلف نظیر لام، سیلیکون و ... استفاده می‌شود. این دستگاه مجهز به یک پمپ روتاری و یک پمپ توربو به منظور خلاء محفظه می‌باشد که به فشار نهایی X10E – 6 torr خواهد رسید و دارای دو سورس لایه نشانی تبخیر حرارتی و پرتو الکترونی است که ضخامت سنجی توسط یک کریستال ضخامت سنج انجام پذیر است.

امکان لایه نشانی نانومتری بر روی زیرلایه‌های متفاوت فراهم است.

استاندارد آزمون لایه نشانی پرتو الکترونی ( E-Beam Deposition Test Standard )

نام : ران دستگاه تا ضخامت 100 نانومتر ( Ebeam Run - 100nm )

نام : ران دستگاه برای ضخامت بالاتر از 100 نانومتر ( Ebeam Run + 100nm )