آزمون لایه نشانی تبخیر فیزیکی پرتو الکترونی
اتاق تمیز میکرو/نانوفب ( Micro/nanofab Clean room )
آزمون لایه نشانی تبخیر فیزیکی پرتو الکترونی
ضخامت نانومتری
![](/repository/file/2023/6/9/Clomega404.png.png)
دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی
به منظور لایه نشانی روی زیرلایههای مختلف نظیر لام، سیلیکون و ... استفاده میشود. این دستگاه مجهز به یک پمپ روتاری و یک پمپ توربو به منظور خلاء محفظه میباشد که به فشار نهایی X10E – 6 torr خواهد رسید و دارای دو سورس لایه نشانی تبخیر حرارتی و پرتو الکترونی است که ضخامت سنجی توسط یک کریستال ضخامت سنج انجام پذیر است.
امکان لایه نشانی نانومتری بر روی زیرلایههای متفاوت فراهم است.
استاندارد .Int. Pro 3018
استاندارد آزمون لایه نشانی پرتو الکترونی ( E-Beam Deposition Test Standard )
نمونه اتاق تمیز ممز
پارامتر (ها)
ران دستگاه تا ضخامت 100 نانومتر ( Ebeam Run - 100nm )
ران دستگاه برای ضخامت بالاتر از 100 نانومتر ( Ebeam Run + 100nm )