کاربر عزیز خوش آمدید
آزمون لایه نشانی تبخیر فیزیکی تبخیر حرارتی
اتاق تمیز میکرو/نانوفب ( Micro/nanofab Clean room )
آزمون لایه نشانی تبخیر فیزیکی تبخیر حرارتی
ضخامت نانومتری
دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی
به منظور لایه نشانی روی زیرلایه‌های مختلف نظیر لام، سیلیکون و ... استفاده می‌شود. این دستگاه مجهز به یک پمپ روتاری و یک پمپ توربو به منظور خلاء محفظه می‌باشد که به فشار نهایی X10E – 6 torr خواهد رسید و دارای دو سورس لایه نشانی تبخیر حرارتی و پرتو الکترونی است که ضخامت سنجی توسط یک کریستال ضخامت سنج انجام پذیر است.
امکان لایه نشانی نانومتری بر روی زیرلایه‌های متفاوت فراهم است.
استاندارد .Int. Pro 3019
استاندارد آزمون لایه نشانی تبخیر حرارتی ( Thermal Evaporation Deposition Test Standard )
نمونه اتاق تمیز ممز
پارامتر (ها)
1
ران دستگاه برای ضخامت 100nm ( Thermal Evaporation Run - 100nm )
(ريال)
2
ران دستگاه برای ضخامت بیشتر از 100nm ( Thermal Evaporation Run +100nm )
(ريال)
