کاربر عزیز خوش آمدید
آزمون زدایش یون واکنشگر
اتاق تمیز میکرو/نانوفب ( Micro/nanofab Clean room )
آزمون زدایش یون واکنشگر
اعمال پلاسمای گازهای مختلف بر سطح
دستگاه زدایش یون واکنشگر
امکان زدایش سطح با گازهای مختلف اکسیژن، آرگون، هیدروژن آرگون، SF6
لایه برداری پلیمر و پلاستیک و پلاسمای با گازهای اکسیژن،آرگون،هیدروژن و هگزا فلوراید گوگرد با قابلیت پخش کننده یکنواخت گاز در محفظه با کنترل‌کننده PLC که فلوی دقیق گاز توسط MFC تنظیم می‌شود.
استاندارد SOP 3015
استاندارد آزمون زدایش یون واکنشگر ( RIE Test Standard )
نمونه اتاق تمیز ممز
پارامتر (ها)
1
زدایش سطح با گاز اکسیژن ( O2 Reactive Ion Etching )
(ريال)
2
زدایش سطح با گاز آرگون ( Argon Reactive Ion Etching )
(ريال)
3
زدایش سطح با گاز SF6 ( SF6 Plasma Etching )
(ريال)
4
زدایش سطح با گاز هیدروژن - آرگون ( H )
(ريال)
